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課程名稱 |
微機電系統設計
Design of Micro-electro-mechanical Systems |
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開課學期 |
112-1 |
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授課對象 |
工學院 機械工程學系 |
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授課教師 |
楊燿州 |
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課號 |
ME5111 |
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課程識別碼 |
522 U0710 |
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班次 |
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學分 |
3.0 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期二7,8,9(14:20~17:20) |
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上課地點 |
工綜207 |
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備註 |
本課程中文授課,使用英文教科書。
總人數上限：40人 |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
1. scaling laws
2. 微電子製程
3. 微機電製程
4. 微機電設計分析概念及流程簡介
5. 微機電設計軟體上機實習
6. 系統動態分析與模擬
7. 結構與流體力學
8. 感測原理
9. 信號、系統與雜訊
10. 電路回授控制,整體設計與封裝
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課程目標 |
將以半導體元件之製程為主軸，介紹微小機電元件的製作技術及設計原理。並介紹微感測器、微致動器及生醫元件等原理、製作方法及設計概念。並透過電腦實際操作，讓學生熟悉微機電元件之EDA(Electronic Design Automation)設計平台軟體的概念。 |
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課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
教科書： Microsystem Design, by S. D. Senturia, Kluwer Academic Publishers, 2001 |
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評量方式
(僅供參考) |
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